產(chǎn)品目錄 / Product catalog
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RTP-小型快速退火爐
更新時(shí)間： 2024-05-09
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產(chǎn)品報(bào)價(jià)：
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 產(chǎn)品應(yīng)用：該電爐采用紅外燈管加熱，通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn) 。
詳細(xì)資料：
產(chǎn)品應(yīng)用：
該電爐采用紅外燈管加熱，通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、
快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)
產(chǎn)品特點(diǎn)：
可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過(guò)快速移動(dòng)爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì)，可對(duì)樣品進(jìn)行快速升降溫處理；管內(nèi)測(cè)溫設(shè)計(jì)，
溫控精度高,大升溫速率50℃/s;緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。
產(chǎn)品名稱 | RTP-小型快速退火爐 |
產(chǎn)品型號(hào) | RTP-G11103-K |
額定功率 | 9KW |
額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
極限溫度 | 1000°C |
連續(xù)工作 | 950°C(<1 小時(shí)) |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 100mm |
加熱元件 | 紅外燈管 |
溫度控制 | 國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫； |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ110*380MM |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
滑動(dòng)距離 | 355mm |
滑動(dòng)方式 | 手動(dòng)滑動(dòng) |
建議升溫速度 | 室溫900℃：30℃/sec |
外形尺寸 | 950 X 350 X 530 mm |
重量 | 45Kg |
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個(gè)。 |
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