產(chǎn)品目錄 / Product catalog
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產(chǎn)品應(yīng)用:該電爐采用紅外燈管加熱,通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn) 。
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