產(chǎn)品目錄 / Product catalog
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RTP快速退火爐
更新時間： 2024-05-09
訪問次數(shù)： 11270
產(chǎn)品報價：
產(chǎn)品簡介： RTP快速退火爐操作便捷，電熱元件采用紅外燈管，升溫速度快，節(jié)省時間，滑動法蘭使裝卸樣品過程簡化，方便操作，可快速得到實驗結(jié)果，取消了反復的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成的損壞。
詳細資料：
RTP快速退火爐產(chǎn)品用途：
此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。
RTP快速退火爐產(chǎn)品組成：
此款CVD系統(tǒng)配置：
1.1200度開啟式真空管式爐（可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)）。
2.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
3.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）
產(chǎn)品特點：
1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。
2中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強，耐沖擊分子泵
防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統(tǒng)使用壽命。
產(chǎn)品名稱 | RTP系列-滑動式快速退火爐 |
產(chǎn)品型號 | RTP-G06123K-H |
額定功率 | 9KW |
額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
極限溫度 | 1000℃ |
連續(xù)工作 | 950℃(<1 小時) |
加熱區(qū)長度 | 250mm |
恒溫區(qū)長度 | 200mm |
加熱元件 | 紅外燈管 |
溫度控制 | 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫； |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100mm |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
滑動距離 | 300mm |
大降溫速度 | 900~200℃的降溫速度:15min |
zui快升溫速度 | 50oC/S |
滑動控制 | 由溫度控制器自動控制爐體移動. 當程序完成，爐體按設(shè)定的速度滑動。 |
流量計 | 浮子流量計60-600ml/min |
滑軌尺寸 | 360 x1300x265mm |
外形尺寸 | 360x385x595mm |
重量 | 85Kg |
標準配置 | 氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、石英堵三個、鉤子一把、高溫手套一副。 |
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