產(chǎn)品目錄 / Product catalog
相關(guān)文章 / Related articles
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統(tǒng)PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統(tǒng)PECVD-12IH-4Z/G
查看詳細(xì)介紹1200℃滑動(dòng)式單溫區(qū)管式電爐密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù),有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調(diào)功能。
查看詳細(xì)介紹操作便捷性:1、方便的氣路快速連接口,簡(jiǎn)化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。2、配置有三種接口(寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口),方便組合多種連接方式。
查看詳細(xì)介紹操作便捷性:1、方便的氣路快速連接口,簡(jiǎn)化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。2、配置有三種接口(寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口),方便組合多種連接方式。
查看詳細(xì)介紹操作便捷性:1、方便的氣路快速連接口,簡(jiǎn)化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。2、配置有三種接口(寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口),方便組合多種連接方式。
查看詳細(xì)介紹